- SCALPEL-Verfahren
- n <ic.prod> (zur Wafer-Belichtung) ■ scattering with angular limitation projection electron lithography (SCALPEL) Bell Labs
German-english technical dictionary. 2013.
German-english technical dictionary. 2013.
Elektronenstrahllithografie — Die Elektronenstrahllithografie (ESL, englisch electron beam lithography oft als e beam lithography abgekürzt) ist in der Mikro und Halbleitertechnik ein spezielles Verfahren zur Strukturierung einer Elektronenstrahl empfindlichen Schicht… … Deutsch Wikipedia